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![半導(dǎo)體氣體傳感器相關(guān)知識簡介]()
半導(dǎo)體氣體傳感器相關(guān)知識簡介
半導(dǎo)體傳感器一般是指根據(jù)半導(dǎo)體材料的各種物理、化學(xué)和生物學(xué)特性而研發(fā)的傳感器。半導(dǎo)體傳感器所采用的半導(dǎo)體材料多數(shù)是硅以及Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族元素化合物。而且半導(dǎo)體傳感器種類繁多，利用近百種物理效應(yīng)和材料的特性，使其具有類似于人眼、耳、鼻、舌、皮膚等多種感覺功能，半導(dǎo)體氣體傳感器也是半導(dǎo)體傳感器中的一種。
2022-06-09 精訊暢通
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![堪稱黑科技的MEMS氣體傳感器了解一下]()
堪稱黑科技的MEMS氣體傳感器了解一下
MEMS氣體傳感器是利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板，所用氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)環(huán)境空氣中被檢測氣體存在時傳感器電導(dǎo)率發(fā)生變化，該氣體濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。在這種情況下，只需使用較為簡單的電路，即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)變?yōu)殡娏鞯淖兓M而生成與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號。?
2022-06-07 精訊暢通
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![MEMS傳感器行業(yè)發(fā)展趨勢是怎樣的]()
MEMS傳感器行業(yè)發(fā)展趨勢是怎樣的
MEMS傳感器是一種在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域，采用微電子技術(shù)和微機械加工技術(shù)而研發(fā)出來的物聯(lián)網(wǎng)傳感器。MEMS傳感器種類繁多，主要的MEMS傳感器包括運動傳感器、壓力、麥克風(fēng)、環(huán)境、光傳感器等。環(huán)境傳感器又可細分為氣體、溫度和濕度傳感器等。其中MEMS氣體傳感器主要用于檢測目標(biāo)氣體的成分、濃度等。
2022-06-06 精訊暢通
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![MEMS氣體傳感器的特點及分類]()
MEMS氣體傳感器的特點及分類
如今，氣體傳感器在各個領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛，在物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)應(yīng)用的推動下，其技術(shù)發(fā)展方向開始向小型化、集成化、模塊化、智能化方向發(fā)展。基于MEMS氣體傳感器的設(shè)計方案將成為未來氣體傳感器的主要發(fā)展方向之一?，F(xiàn)在，儀器儀表中以單晶硅材料為襯底，非硅材料為敏感層的MEMS氣體傳感器最為常見。
2022-06-02 精訊暢通
