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MEMS氨氣傳感器

MEMS氨氣傳感器的微熱板是利用MEMS工藝制作的,采用金屬氧化物半導(dǎo)體材料作為氣敏材料。當(dāng)環(huán)境空氣中有氨氣氣體存在時(shí),MEMS氨氣傳感器的電導(dǎo)率會(huì)發(fā)生變化。氨氣氣體的濃度越高,MEMS氣體傳感器的電導(dǎo)率就越高。該NH3傳感器使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號(hào)。

  • 氣體類型: 氨氣

產(chǎn)品介紹:

MEMS氨氣傳感器的微熱板是利用MEMS工藝制作的,采用金屬氧化物半導(dǎo)體材料作為氣敏材料。當(dāng)環(huán)境空氣中有氨氣氣體存在時(shí),MEMS氨氣傳感器的電導(dǎo)率會(huì)發(fā)生變化。氨氣氣體的濃度越高,MEMS氣體傳感器的電導(dǎo)率就越高。該NH3傳感器使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號(hào)。

產(chǎn)品參數(shù):

氨氣檢測范圍:0-300ppm

回路電壓Vc:≤24V DC

加熱電壓VH:2.8V士0.1V AVorDC

負(fù)載電阻RL:可調(diào)

加熱電阻RH:80?土20?(室溫)

加熱功耗PH:≤80mW

敏感體電阻Rs:1K?~30K?

靈敏度S:RO/RS≥2

濃度斜率a:≤0.9

溫度:20°C士2°C

濕度:55%RH土5%RH

標(biāo)準(zhǔn)測試電路:VH:2.8V士0.1V,VC:5.0V

圖片關(guān)鍵詞

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標(biāo)簽: MEMS氨氣傳感器
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